● 较高测量精度：Height (Z) :0.5μm
● 重复精度：Height :below 1.2μm , Volume :below 1%
● 放大倍率：50X
● 光学检测系统：黑白200万像素 CCD
● 激光发生系统：红光激光模组
● 自动平台系统：全自动
● 测量原理：非接触式激光束
● X/Y可移动扫描范围： 300mm(X) × 300mm(Y)
● 较大可测量高度：5mm
● 测量速度：较大60 Profiles / min
● SPC 软件：Cp、Cpk、Sigma、Histogram Chat、 X bar R
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